1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 专利分类
  4. 化学/冶金
发明

一种单晶复合衬底及其制备方法2024

2024-03-02 07:15:49 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202311559095.6
  • 公开（公告）日：2024-10-01
  • 公开（公告）号：CN117568912A
  • 申请人：松山湖材料实验室|||广东中民工业技术创新研究院有限公司
摘要：本申请提供一种单晶复合衬底及其制备方法，涉及复合材料领域。单晶复合衬底的制备方法包括以下步骤：获得单晶复合衬底模板，单晶复合衬底模板包括衬底以及形成于其表面的单晶模板；在单晶模板的表面沉积一层沉积层，沉积层与单晶模板的材质相同，沉积层为非晶相；对沉积层使用脉冲激光辐射处理以使沉积层重结晶，获得单晶膜，重结晶的过程中衬底保持室温；重复沉积和重结晶的步骤，直至单晶膜的堆叠厚度达到预设厚度。该制备方法能够在增加单晶膜的总厚度的基础上，减小衬底和单晶膜之间的内应力，有效提高最终制得的单晶复合衬底的质量。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117568912 A (43)申请公布日 2024.02.20 (21)申请号 202311559095.6 C30B 27/00 (2006.01) C30B 29/40 (2006.01) (22)申请日 2023.11.21 C30B 29/16 (2006.01) (71)申请人 松山湖材料实验室 C30B 29/36 (2006.01) 地址 523000 广东省东莞市大朗镇屏东路 H01L 21/02 (2006.01) 333号 申请人 广东中民工业技术创新研究院有限 公司 (72)发明人 王新强　袁冶　卢同心　万文婷　 曹家康　李泰　罗巍　 (74)专利代理机构 北京超凡宏宇知识产权代理 有限公司 11463 专利代理师 吕露 (51)Int.Cl. C30B 1/02 (2006.01) C30B 30/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图2页 (54)发明名称 一种单晶复合衬底及其制备方法 (57)摘要 本申请提供一种单晶复合衬底及其

最新专利

相关专利