电子陶瓷基片一体烧结方法
- 申请专利号:CN202111106907.2
- 公开(公告)日:2023-05-30
- 公开(公告)号:CN113831143A
- 申请人:宜宾红星电子有限公司
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113831143 A (43)申请公布日 2021.12.24 (21)申请号 202111106907.2 (22)申请日 2021.09.22 (71)申请人 宜宾红星电子有限公司 地址 644000 四川省宜宾市叙州区城北新 区仁友路1号 (72)发明人 尚华 王刚 段冰 林贵洪 (74)专利代理机构 成都虹桥专利事务所(普通 合伙) 51124 代理人 刘扬 (51)Int.Cl. C04B 35/638 (2006.01) C04B 35/64 (2006.01) C04B 35/10 (2006.01) C04B 35/08 (2006.01) H01L 21/48 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 (54)发明名称 电子陶瓷基片一体烧结方法 (57)摘要 本发明涉及电子陶瓷材料制备工艺领域,尤 其是一种有效提高电子陶瓷基片品质,同时由于 陶瓷基片熟烧和复平两个工序合并为一个烧结 工序,还可以节能减排,又能缩短生产制造周期 的电子陶瓷基片一体烧结方法,包括如下步骤: a、陶瓷基片坯体的排胶脱脂处理;b、钨钼片间夹 陶瓷基片的设置;c、还原气氛炉的烧结;d、熟烧 和复平一体烧结,分别取出钨钼片及陶瓷基片得 到产品。本方法烧结后,产品的翘曲度可以直接 达到0.05mm以内,陶瓷体积密度不受压烧影响而 降低,烧结后基片表面
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