PCT发明

温控吊灯型喷头

2023-05-06 09:51:27 发布于四川 0
  • 申请专利号:CN202080059762.2
  • 公开(公告)日:2024-10-29
  • 公开(公告)号:CN114341398A
  • 申请人:朗姆研究公司
摘要:公开了用于半导体处理设备的喷头,其包括设计用于在高温应用中促进喷头的热控制的多种特征。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114341398 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202080059762.2 肖恩 ·M ·唐纳利  迈克尔 ·约翰 ·塞勒普  (22)申请日 2020.08.21 (74)专利代理机构 上海胜康律师事务所 31263 (30)优先权数据 代理人 李献忠 张华 62/891,211 2019.08.23 US (51)Int.Cl. (85)PCT国际申请进入国家阶段日 C23C 16/455 (2006.01) 2022.02.23 H01J 37/32 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/US2020/070437 2020.08.21 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/042116 EN 2021.03.04 (71)申请人 朗姆研究公司 地址 美国加利福尼亚州 (72)发明人 罗彬 蒂莫西 ·斯科特 ·托马斯  马修 ·B ·希克 

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