晶体生长炉

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115821370 A (43)申请公布日 2023.03.21 (21)申请号 202211308619.X (22)申请日 2022.10.25 (71)申请人 浙江晶盛机电股份有限公司 地址 312300 浙江省绍兴市上虞区通江西 路218号 (72)发明人 朱亮　傅林坚　张俊　叶钢飞　 欧阳鹏根　曹建伟　阮文星　 (74)专利代理机构 杭州华进联浙知识产权代理 有限公司 33250 专利代理师 蒋豹 (51)Int.Cl. C30B 17/00 (2006.01) C30B 29/20 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图10页 (54)发明名称 晶体生长炉 (57)摘要 本发明涉及一种晶体生长炉，该晶体生长炉 包括机架、提拉杆、操纵机构、炉室和密封机构， 操纵机构设置于机架，提拉杆设置于操纵机构， 操纵机构包括第一输出轴和第二输出轴，第一输 出轴用于驱动提拉杆水平移动，第二输出轴用于 驱动提拉杆沿着自身轴线转动；炉室包括具有腔 体的炉体和盖合于炉体的炉盖，炉盖上设有避让 通道，提拉杆穿过避让通道伸入腔体，且避让通 道允许提拉杆水平移动；密封机构套设于提拉 杆，用于盖封避让通道。本发明的优点在于：通过 在炉盖上设置避让通道，从而允许提拉杆水平运 动，实现偏心引晶。在晶体生长的过程中，密封机 A 构将避让通道密封，防止外界空气中的氧气等杂 0 质进入炉室，从而保证晶体