送气操作箱以及供气系统2023

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219775453 U (45)授权公告日 2023.09.29 (21)申请号 202321116818.0 (22)申请日 2023.05.10 (73)专利权人 上海正帆科技股份有限公司 地址 200241 上海市闵行区春永路55号2幢 专利权人 江苏正帆半导体设备有限公司 (72)发明人 夏伯春　顾鑫　李梦越　 (74)专利代理机构 北京超凡宏宇知识产权代理 有限公司 11463 专利代理师 唐正瑜 (51)Int.Cl. F17C 5/06 (2006.01) F17C 13/02 (2006.01) F17C 13/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图4页 (54)实用新型名称 送气操作箱以及供气系统 (57)摘要 本申请提供了一种送气操作箱以及供气系 统，涉及供气设备技术领域。送气操作箱用于对 待供气设备供气；送气操作箱包括箱体以及安装 于箱体的底部的滚轮，以使箱体可以移动。箱体 上设置有气体进口和可选择地开闭的气体出口， 气体进口用于与气源连通，气体出口用于向待供 气设备内供气。箱体的外表面上设置有拨码开 关，箱体上设置有控制器，控制器与拨码开关信 号连接，控制器被配置为 ：接收拨码开关发出的 开闭指令，并根据拨码开关发出的开闭指令控制 气体出口的开闭。本申请提供的送气操作箱便于 移动，可实现灵活地对设置在不同位置的待供气 U 设备进行供气，无需使得每台待供气设备均安装