一种TiVCrZrW/Si纳米复合涂层的制备方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116219365 A (43)申请公布日 2023.06.06 (21)申请号 202310248717.7 (22)申请日 2023.03.15 (71)申请人 烟台大学 地址 264005 山东省烟台市莱山区清泉路 30号 (72)发明人 范云婷　任萍　李亚　马啸飞　 郁大良　李奂宇　 (74)专利代理机构 哈尔滨市松花江专利商标事 务所 23109 专利代理师 李红媛 (51)Int.Cl. C23C 14/18 (2006.01) C23C 14/35 (2006.01) B82Y 40/00 (2011.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图1页 (54)发明名称 一种TiVCrZrW/Si纳米复合涂层的制备方法 (57)摘要 一种TiVCrZrW/Si纳米复合涂层的制备方 法，涉及一种TiVCrZrW基纳米复合涂层的制备方 法。本发明的目的是通过磁控溅射生成自润滑的 高熵陶瓷薄膜，进而改善TiVCrZrW基纳米涂层的 摩擦学性能及耐腐蚀性能 。本发明提供了一种 TiVCrZrW基纳米复合涂层薄膜，通过引入硬质元 素Si元素，形成了具有高硬度、高韧性、低摩擦和 耐磨损的高熵陶瓷薄膜，并且实现了对TiVCrZrW 基涂层微观结构的调控，提高了涂层的致密度， 提高了所述涂层在模拟海水环境下的耐腐蚀性 能，实现了TiVCrZrW/Si纳米复合涂层的可控生 长。 A