实用新型

一种晶圆托盘

2023-01-26 07:40:55 发布于四川 2
  • 申请专利号:CN202223441125.7
  • 公开(公告)日:2023-01-24
  • 公开(公告)号:CN218368919U
  • 申请人:广州塔塔电子科技股份有限公司
摘要:本实用新型涉及晶圆托盘技术领域,具体涉及一种晶圆托盘,包括托盘本体、设置于托盘本体顶端的盖体以及均匀开设于托盘本体顶面的存放槽,还包括设置于托盘本体两侧的滑槽,所述滑槽的内部均滑动连接有滑块,盖体通过滑块、滑槽与托盘本体滑动连接;设置于存放槽侧面顶部的固定件,用于对存放槽内部的晶圆进行限位固定;设置于存放槽底面的吸附件,用于对存放槽内部的晶圆进行吸附固定,本实用新型在使用的过程中,气体使第一气囊发生膨胀,膨胀后的第一气囊对晶圆进行固定,从而减少在转移晶圆的过程中,出现移位、脱落、污染、划伤、变形发生弯曲以及破碎等问题,保证托盘本体进行晶圆的转移效果。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218368919 U (45)授权公告日 2023.01.24 (21)申请号 202223441125.7 H01L 21/683 (2006.01) H01L 21/687 (2006.01) (22)申请日 2022.12.22 (73)专利权人 广州塔塔电子科技股份有限公司 地址 510000 广东省广州市黄埔区伴河路 96号1栋201房 (72)发明人 黄晨福  (74)专利代理机构 广州科华知识产权代理事务 所(普通合伙) 44938 专利代理师 黄勇洪 (51)Int.Cl. B65D 19/44 (2006.01) B65D 19/38 (2006.01) B65D 81/05 (2006.01) B65D 85/30 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 (54)实用新型名称 一种晶圆托盘 (57)摘要 本实用新型涉及晶圆托盘技术领域,具体涉 及一种晶圆托盘,包括托盘本体、设置于托盘本 体顶端的盖体以及均匀开设于托盘本体顶面的 存放槽,还包括设置于托盘本体两侧的滑槽,所 述滑槽的内部均滑动连接有滑块,盖体通过滑 块、滑槽与托盘本体滑动连接;设置于存放槽侧 面顶部的固定件,用于

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