反应器系统以及其使用方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112626493 A (43)申请公布日 2021.04.09 (21)申请号 202011030325.6 C23C 16/06 (2006.01) C23C 16/54 (2006.01) (22)申请日 2020.09.27 (30)优先权数据 62/912,511 2019.10.08 US (71)申请人 ASM IP私人控股有限公司 地址 荷兰阿尔梅勒 (72)发明人 林兴　P.高　P.纳加拉杰　马明阳　 王文涛　I.H.赵　A.迪莫斯　P.马　 H.埃姆萨德　 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 焦玉恒 (51)Int.Cl. C23C 16/455 (2006.01) C23C 16/50 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图13页 (54)发明名称 反应器系统以及其使用方法 (57)摘要 公开了一种包括气体分配组件的反应器系 统和使用所述反应器系统的方法。所述气体分配 组件包括气体分配装置、气体膨胀区域和处于所 述气体分配装置和所述膨胀区域下游的喷头板。 A 3 9 4 6 2 6 2 1 1 N C CN 112626493