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发明

一种强结合高耐蚀TiAl/Ti2AlC涂层的制备方法

2023-05-15 11:22:35 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202210193020.X
  • 公开（公告）日：2024-05-31
  • 公开（公告）号：CN114717516A
  • 申请人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
摘要：本发明公开了一种TiAl/Ti2AlC强结合耐腐蚀涂层。首先，利用高功率脉冲磁控溅射系统，通过溅射纯度为99.95％的TiAl靶(Ti:Al＝1:1)，在基体表面沉积晶体结构为密排六方结构的TiAl层；然后，同时利用高功率脉冲磁控溅射源和直流磁控溅射源共溅射TiAl靶和石墨靶，在TiAl层表面沉积Ti‑Al‑C层，得到TiAl/Ti‑Al‑C双层涂层；最后，进行热处理，使Ti‑Al‑C层转化为Ti2AlC MAX相涂层(相纯度＞83wt.％)。该方法制备过程简单，易于控制，制备的复合涂层具有良好的致密性，具有高的耐海水腐蚀特性。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114717516 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210193020.X C23C 14/58 (2006.01) (22)申请日 2022.03.01 (71)申请人 中国科学院宁波材料技术与工程研 究所 地址 315201 浙江省宁波市镇海区中官西 路1219号 (72)发明人 汪爱英　周定伟　王振玉　周广学　 李忠昌　 (74)专利代理机构 杭州天勤知识产权代理有限 公司 33224 专利代理师 刘诚午 (51)Int.Cl. C23C 14/16 (2006.01) C23C 14/06 (2006.01) C23C 14/35 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图5页 (54)发明名称 一种强结合高耐蚀TiAl/Ti AlC涂层的制备 2 方法 (57)摘要 本发明公开了一种TiAl/Ti AlC强结合耐腐 2 蚀涂层。首先，利用高功率脉冲磁控溅射系统，通 过溅射纯度为99.95％的TiAl靶(Ti:Al＝1:1)， 在基体表面沉积晶体结构为密排六方结构的 TiAl层；然后，同时利用高功率脉冲磁控溅射源 和直流磁控溅射源共溅射TiAl靶和石

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