小抽速离子泵寿命考核装置及寿命考核方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114483608 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202111644667.1 (22)申请日 2021.12.29 (71)申请人 北京无线电计量测试研究所 地址 100854 北京市海淀区永定路50号12 号楼 (72)发明人 王文明　沈国辉　冯玉宾　李晶　 陈强　郑贺斐　王锋　 (74)专利代理机构 中国航天科工集团公司专利 中心 11024 专利代理师 张国虹 (51)Int.Cl. F04D 19/04 (2006.01) F04D 29/00 (2006.01) F04D 29/64 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图2页 (54)发明名称 小抽速离子泵寿命考核装置及寿命考核方 法 (57)摘要 本发明公开了一种小抽速离子泵寿命考核 装置及寿命考核方法。该小抽速离子泵寿命考核 装置氢源罐、提纯器、三通、被测离子泵、真空阀 门、分子泵组以及数据处理器。氢源罐上设置有 开关阀；提纯器通过连接管与开关阀连接；三通 包括第一端口、第二端口以及第三端口，第一端 口与提纯器密封连接；被测离子泵与第二端口密 封连接，被测离子泵通过高压电源加电；真空阀 门与第三端口密封连接；分子泵组与真空阀门连 接；数据处理器用于对被测离子泵高压电源离子 流数据进行采集和处理。本发明的小抽速离子泵 A 寿命考核装置，可以客观、真实、有效的考核被测