一种太阳能硅片的微波干燥加热装置
- 申请专利号:CN202222393324.9
- 公开(公告)日:2022-12-02
- 公开(公告)号:CN217953012U
- 申请人:苏州迈为科技股份有限公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 217953012 U (45)授权公告日 2022.12.02 (21)申请号 202222393324.9 H01L 31/18 (2006.01) (22)申请日 2022.09.08 (73)专利权人 苏州迈为科技股份有限公司 地址 215200 江苏省苏州市吴江区芦荡路 228号 (72)发明人 孙亮 房开乐 吴瑶 (74)专利代理机构 江苏瑞途律师事务所 32346 专利代理师 韦超峰 (51)Int.Cl. F26B 15/12 (2006.01) F26B 23/08 (2006.01) F26B 25/02 (2006.01) F26B 25/00 (2006.01) H05B 6/64 (2006.01) H05B 6/80 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 (54)实用新型名称 一种太阳能硅片的微波干燥加热装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种太阳能硅片的微波 干燥加热装置,属于太阳能电池制造技术领域。 烘干炉,包括相互平行设置的上炉体与下炉体; 所述上炉体包括反射腔体,反射腔体上安装有微 波发生器和测温装置;所述下炉体上设有传动系 统;所述烘干炉两端设有出入口,硅片从一端进 入被加热并通过传动系统从另一端输出。本实用 新型采用微波加热代替传统的红外加热方式,通 过反射系统使得微波更均匀地作用在被加
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