基于磁约束提升热丝CVD沉积金刚石涂层效率的方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113737153 A (43)申请公布日 2021.12.03 (21)申请号 202111010792.7 (22)申请日 2021.08.31 (71)申请人 嘉兴沃尔德金刚石工具有限公司 地址 314000 浙江省嘉兴市秀洲区高照街 道八字路1136号 (72)发明人 王弢　杨路　汪亮　孙刘杨　 (74)专利代理机构 重庆中之信知识产权代理事 务所(普通合伙) 50213 代理人 郑雪红 (51)Int.Cl. C23C 16/27 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图1页 (54)发明名称 基于磁约束提升热丝CVD沉积金刚石涂层效 率的方法 (57)摘要 本发明属于金刚石涂层制备技术领域，具体 公开了基于磁约束提升热丝CVD沉积金刚石涂层 效率的方法，改进型的热丝CVD设备包括依次连 接的气源、涂层腔室和真空泵，涂层腔室内设有 基台和热丝电极组件，在涂层腔室内设置有磁增 强组件，磁增强组件包括磁增强电极以及磁控电 源，磁增强电极之间连接有螺旋形热丝；在离解 阶段：控制磁控电源向磁增强电极通入0.3～ 0.5A的交变电流；在沉积阶段：控制磁控电源向 磁增强电极通入3～5A的交变电流；在降温阶段： 控制磁控电源向磁增强电极通入1～3A的交变电 A 流。采用本发明的方案，带电粒子团在磁场作用 3 下做螺旋运动，延长了粒子的滞留时间，提高了 5 1 7 和待涂层刀具的有效碰撞几率，进而提升沉