准分子激光器能量掉点检测方法及装置2024

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116960712 A (43)申请公布日 2023.10.27 (21)申请号 202210406979.7 (22)申请日 2022.04.18 (71)申请人 北京科益虹源光电技术有限公司 地址 100176 北京市大兴区经济技术开发 区经海四路156号10号楼二层 (72)发明人 梁赛　冯泽斌　王吉亮　刘锴锋　 徐向宇　刘广义　江锐　刘斌　 陈佩佩　 (74)专利代理机构 北京汲智翼成知识产权代理 事务所(普通合伙) 11381 专利代理师 陈曦　董烨飞 (51)Int.Cl. H01S 3/036 (2006.01) H01S 3/00 (2006.01) G01M 11/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书10页 附图5页 (54)发明名称 准分子激光器能量掉点检测方法及装置 (57)摘要 本发明公开了一种准分子激光器能量掉点 检测方法及装置。该方法包括以下步骤：接收来 自MO能量传感器的主振荡放电腔在当前脉冲的 出光能量，并且计算预先设定的脉冲数量N的主 振荡放电腔的出光能量的均值，判断出主振荡放 电腔是否出现能量掉点；接收来自PA能量传感器 的功率放大放电腔在当前脉冲的出光能量；并 且，结合功率放大放电腔的预先设定的能量目标 以及预先设定的脉冲数量N的功率放大放电腔的 出光能量的均值，判断出功率放大放电腔是否出