一种高通量分立掩膜装置

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112342494 A (43)申请公布日 2021.02.09 (21)申请号 201910727545.5 (22)申请日 2019.08.07 (71)申请人 宁波星河材料科技有限公司 地址 315000 浙江省宁波市宁波高新区宁 波新材料创新中心东区1幢1号10-4-1 (72)发明人 余应明　郭鸿杰　鲁森钱　 (74)专利代理机构 上海一平知识产权代理有限 公司 31266 代理人 徐迅　唐雪娇 (51)Int.Cl. C23C 14/04(2006.01) C23C 16/04(2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 (54)发明名称 一种高通量分立掩膜装置 (57)摘要 本发明涉及高通量组合材料制备系统领域， 公开了一种高通量分立掩膜装置。该高通量分立 掩膜装置包括：基片托架，用于放置基片，所述基 片托架通过基片托架升降电机和基片托架旋转 电机控制升降和旋转；掩膜机械臂，所述掩膜机 械臂通过掩膜机械臂旋转电机控制旋转；掩膜支 架，用于放置掩膜片，所述掩膜支架通过掩膜支 架升降电机控制升降；所述基片托架，掩膜机械 臂和掩膜支架依次置于一个真空腔体内，所述掩 膜机械臂在掩膜支架和基片托架之间转动取放 掩膜。本发明通过掩膜机械臂将原多工位精确定 位转化为双工位精确定位，实现精密定位，大大