一种ECR离子源感应炉2024

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 109916177 A (43)申请公布日 2019.06.21 (21)申请号 201910266265.9 (22)申请日 2019.04.03 (71)申请人 中国科学院近代物理研究所 地址 730000 甘肃省兰州市南昌路509号 (72)发明人 卢旺　钱程　孙良亭　李立彬　 黄维　 (74)专利代理机构 北京纪凯知识产权代理有限 公司 11245 代理人 谢斌 (51)Int.Cl. F27B 14/06(2006.01) F27B 14/08(2006.01) F27B 14/14(2006.01) 权利要求书2页 说明书4页 附图1页 (54)发明名称 一种ECR离子源感应炉 (57)摘要 本发明涉及一种ECR离子源感应炉，包括：感 应坩埚，感应坩埚呈两端开口的圆筒状且为卧式 放置；内屏蔽筒，套设在感应坩埚外部，用于对感 应坩埚进行保温；外屏蔽单元，套设在内屏蔽筒 外部且与内屏蔽筒之间存在环形夹层；感应线 圈，缠绕在内屏蔽筒外周且与内屏蔽筒之间为滑 动配合，用于产生交变磁场以对感应坩埚进行加 热；紧固单元，设置在感应坩埚、内屏蔽筒和外屏 蔽单元的两端，以将感应坩埚、内屏蔽筒和外屏 蔽单元连接在一起并将三者的内部空间封闭，同 时在紧固单元上开设有连通感应坩埚内腔和ECR 等离子体的蒸气