一种碳化硅涂层生产用气相沉积炉2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117660922 A (43)申请公布日 2024.03.08 (21)申请号 202311611876.5 (22)申请日 2023.11.29 (71)申请人 江苏协鑫特种材料科技有限公司 地址 221000 江苏省徐州市徐州经济技术 开发区杨山路66号 (72)发明人 于伟华　黄修康　汪勋　王彬　 孙银刚　 (74)专利代理机构 北京淮海知识产权代理事务 所(普通合伙) 32205 专利代理师 王波 (51)Int.Cl. C23C 16/32 (2006.01) C23C 16/455 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图7页 (54)发明名称 一种碳化硅涂层生产用气相沉积炉 (57)摘要 本申请涉及气相沉积炉技术领域，公开了一 种碳化硅涂层生产用气相沉积炉，用以解决基件 两侧接触的反应原料含量不同导致涂层不均、基 件与料架出现接触死角的问题。通过在固定杆上 开设有连通孔和通气口，炉体上设有旋转接头和 驱动装置，旋转接头连接有进气支管，料架上开 设有滑槽和连通方孔，滑槽内设有支撑台、滑动 块和弹性件，滑动块上活动设有支撑柱，通过气 体原料依次进入不同的连通方孔，驱动不同的支 撑柱夹持基件并转动，改变基件的接触位置，避 免出现接触死角；通过在滑槽的侧壁开设有喷气 孔和喷气支孔，通过滑动块移动，使气体原料通 A 过喷气支孔均匀喷至基件两侧，避免基件两侧接 2 触