一种高密度大尺寸ITO靶材及其制备方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117735975 A (43)申请公布日 2024.03.22 (21)申请号 202311460617.7 (22)申请日 2023.11.06 (71)申请人 先导薄膜材料（淄博）有限公司 地址 255000 山东省淄博市先创区渤海路 以南、创业大道以东 (72)发明人 李立维　马胜　余芳　李明鸿　 (74)专利代理机构 清远市诺誉知识产权代理事 务所(普通合伙) 44815 专利代理师 黄迅 (51)Int.Cl. C04B 35/457 (2006.01) C04B 35/622 (2006.01) C04B 35/638 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01) 权利要求书1页 说明书8页 附图2页 (54)发明名称 一种高密度大尺寸ITO靶材及其制备方法 (57)摘要 本发明属于ITO靶材制备技术领域，公开了 一种高密度大尺寸ITO靶材及其制备方法，该高 密度大尺寸ITO靶材的制备方法，包括如下步骤： 步骤1：将ITO素坯放入脱脂烧结一体炉内以100‑ 150℃/h的升温速率升温至280‑300℃，保温10‑ 25h ，过程中以20 ‑30L/min的流量持续通入 0.1MPa的干燥压缩空气；步骤2：待步骤1保温完 成后，以80‑110℃/h的升温速率升温至600‑620 ℃，保温8‑15h，过程中以20‑30L/min的流量持续 通入干燥压缩空气；步骤3：待步骤2保