一种芯片真空热压炉的炉门锁紧机构及芯片真空热压炉2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220793877 U (45)授权公告日 2024.04.16 (21)申请号 202322509601.2 (22)申请日 2023.09.15 (73)专利权人 中科同帜半导体（江苏）有限公司 地址 225400 江苏省泰州市泰兴高新技术 产业开发区科创路18号 (72)发明人 赵永先　张延忠　周永军　赵登宇　 邓燕　 (74)专利代理机构 泰州知汇腾专利代理事务所 (普通合伙) 32648 专利代理师 张阳 (51)Int.Cl. F27D 1/18 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图5页 (54)实用新型名称 一种芯片真空热压炉的炉门锁紧机构及芯 片真空热压炉 (57)摘要 本实用新型涉及真空热压炉技术领域，提供 一种芯片真空热压炉的炉门锁紧机构，包括炉 盖，所述炉盖的四周设有旋转锁圈；所述旋转锁 圈缺口处设有插板；炉盖上支撑座和炉盖下支撑 座固定在所述炉盖的一侧；在所述炉盖上支撑座 和所述炉盖下支撑座之间设有耳柄，插销轴依次 穿过所述炉盖上支撑座、所述耳柄的第一侧和所 述炉盖下支撑座；所述耳柄的第二侧设有炉门限 位组件，所述耳柄的第二侧设有外筒体支撑座并 铰接，防止炉盖关闭后被冲击打开。 U 7 7 8 3 9 7 0 2 2 N C CN 220793877 U 权　利　要　求　书