一种高寿命低变形率石英坩埚及其制备方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117756382 A (43)申请公布日 2024.03.26 (21)申请号 202311776522.6 (22)申请日 2023.12.21 (71)申请人 常州裕能石英科技有限公司 地址 213200 江苏省常州市金坛区金胜东 路229号 (72)发明人 朱旦　陈治华　秦俊　薛俊良　 (74)专利代理机构 常州恒玖智联知识产权代理 事务所(普通合伙) 32691 专利代理师 吕波 (51)Int.Cl. C03B 20/00 (2006.01) C03C 17/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 (54)发明名称 一种高寿命低变形率石英坩埚及其制备方 法 (57)摘要 本发明涉及石英坩埚技术领域，特别是一种 高寿命低变形率石英坩埚及其制备方法，包括石 英坩埚本体、耐高温涂层为钨碳化合物/钨氧化 物和混合稀土复合而成；散热涂层为硅溶胶和氮 化硼/磷化硼复合微球复合而成；称取定量的石 英砂，采用旋转塑模法电弧熔制石英坩埚本体； 称取钨碳化合物/钨氧化物和混合稀土混合均匀 后，得到耐高温涂层；称取氮化硼/磷化硼复合微 球与硅溶胶混合均匀后，得到散热涂层；分别将 耐高温涂层、散热涂层涂覆至石英坩埚本体的内 表面、外表面，干燥处理后，得到高寿命低变形率 A 石英坩埚。本发明通过耐高温涂层与散热涂层的 2 协同作用可以使得石英坩埚具有高寿命、低变形 8 3 6 率、散热均匀、抗热抗震性