一种静电卡盘2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117810151 A (43)申请公布日 2024.04.02 (21)申请号 202311634853.6 (22)申请日 2023.11.30 (71)申请人 君原电子科技（海宁）有限公司 地址 314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经 济开发区谷水路306号天通泛半导体 产业园2幢 (72)发明人 陈振宁　李君　石锗元　 肖伟　 (51)Int.Cl. H01L 21/683 (2006.01) H01J 37/32 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图2页 (54)发明名称 一种静电卡盘 (57)摘要 本发明公开了一种静电卡盘，属于半导体技 术领域，包括陶瓷板和底座，所述陶瓷板与所述 底座通过粘接层连接，所述底座上设有用于冷却 气体流入的第一通孔和第一多孔件，所述第一多 孔件设置在所述第一通孔与所述粘接层之间，所 述陶瓷板中设有多孔组件和第二通孔，所述多孔 组件位于所述第二通孔与所述粘接层之间，所述 第二通孔与外界连通，所述多孔组件位于所述第 一多孔件的上方。通过设置第一通孔、第一多孔 件、多孔组件和第二通孔，进入到静电卡盘与吸 附在静电卡盘上的吸附物之间，通过静电卡盘， 能够获得更顺畅通气性；通过设置第二多孔件和 A 第三多孔件，间隔排列，让冷却气体获得更长的 1 通道，且通道是多道弯折的，能够更好的抑制电 5 1 0 弧放电。 1 8 7 1 1 N C CN 117810151 A