用于蚀刻小尺寸元件的蚀刻设备及蚀刻方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117660962 A (43)申请公布日 2024.03.08 (21)申请号 202410131682.3 (22)申请日 2024.01.31 (71)申请人 大连保税区金宝至电子有限公司 地址 116600 辽宁省大连市金州区大连保 税区鑫汇南路1-1号 (72)发明人 石圣波　姜圣毅　唐家栋　杨文章　 简群飞　 (74)专利代理机构 北京慧加伦知识产权代理有 限公司 16035 专利代理师 汪永生 (51)Int.Cl. C23F 1/08 (2006.01) C23F 1/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图2页 (54)发明名称 用于蚀刻小尺寸元件的蚀刻设备及蚀刻方 法 (57)摘要 本发明涉及工业装备领域。本发明提供一种 用于蚀刻小尺寸元件的蚀刻设备及蚀刻方法，蚀 刻设备包括传动组件和喷液装置，所述传动组件 将代加工元件传动经过加工区，所述传动组件具 有丝网作为支持面，所述喷液装置具有布设在所 述传动组件的支持面上下两侧的上喷头组和下 喷头组，还包括治具，所述治具为丝网，丝网的网 孔尺寸小于所述小尺寸元件的尺寸。本发明还涉 及蚀刻方法。采用本发明的蚀刻设备、治具或者 方法，不仅可以从上、下两面对一个材料进行蚀 刻，而且非常有利于蚀刻后的小尺寸产品的传 A 输，不会出现材料的滑移和掉落。 2 6 9 0 6 6 7 1 1 N