一种纳米孪晶铜膜转变为单晶铜膜的制备方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115029769 A (43)申请公布日 2022.09.09 (21)申请号 202210739103.4 (22)申请日 2022.06.28 (71)申请人 江苏科技大学 地址 212003 江苏省镇江市京口区梦溪路2 号 (72)发明人 张志杰　施权　高幸　魏红　周旭　 耿遥祥　 (74)专利代理机构 南京苏高专利商标事务所 (普通合伙) 32204 专利代理师 柏尚春 (51)Int.Cl. C30B 1/02 (2006.01) C30B 29/02 (2006.01) C23G 1/10 (2006.01) H01L 21/768 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 (54)发明名称 一种纳米孪晶铜膜转变为单晶铜膜的制备 方法 (57)摘要 本发明公开了一种纳米孪晶铜膜转变为单 晶铜膜的制备方法，包括以下步骤：(1)采用酸溶 液对纳米孪晶铜膜进行预处理；(2)将预处理后 的纳米孪晶铜膜沿厚度方向夹持于冷夹板和热 夹板中进行热处理，冷夹板的温度为‑20℃至30 ℃，热夹板的温度为200‑300℃；(3)保持步骤 (2)，待热处理结束后，即得单晶铜膜，所述纳米 孪晶铜膜为沿厚度方向具有(111)择优晶体取 向，所述单晶铜膜为沿厚度取向为(100)晶面取 向。本发明所采用的制备方法可在低温下实现由 纳米孪晶铜膜到