一种烤箱内气体控制方法及装置2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118066845 A (43)申请公布日 2024.05.24 (21)申请号 202410494680.0 (22)申请日 2024.04.24 (71)申请人 江苏中科智芯集成科技有限公司 地址 221000 江苏省徐州市经济技术开发 区创业路26号凤凰湾电子信息产业园 101-106厂房 (72)发明人 童媛　陶明秦　孙志成　黄涛　 (74)专利代理机构 广州三环专利商标代理有限 公司 44202 专利代理师 吴松滨 (51)Int.Cl. F26B 21/10 (2006.01) F26B 21/00 (2006.01) F26B 25/00 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01) 权利要求书3页 说明书11页 附图1页 (54)发明名称 一种烤箱内气体控制方法及装置 (57)摘要 本发明公开了一种烤箱内气体控制方法及 装置，本发明通过获取芯片材料信息并根据其确 定第一控制信息，烤箱能够根据实际需要调整温 度、压强和气体含量，从而在烘烤过程中维持精 确的环境条件。并根据当前烤箱内的压强和预设 温度信息确定烤箱内气体的第二含量，使得气体 含量能够随着时间和温度的变化而动态调整，有 助于确保烤箱内气体含量与预期值保持一致。这 样通过精准控制烤箱内的温度和气体含量，可以 提高芯片制造过程的稳定性和可靠性，有助于提 高芯片的品质