一种晶圆承载组件及晶圆交互方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114496895 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202111610846.3 (22)申请日 2021.12.27 (71)申请人 华海清科股份有限公司 地址 300350 天津市津南区咸水沽海河科 技园聚兴道11号 (72)发明人 吴兴　王同庆　 (51)Int.Cl. H01L 21/687 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01) H01L 21/306 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图4页 (54)发明名称 一种晶圆承载组件及晶圆交互方法 (57)摘要 本发明公开了一种晶圆承载组件及晶圆交 互方法，所述晶圆承载组件包括固定板；环状的 托架，其同心设置于所述固定板的外周侧；复位 组件，其包括气动座和支杆，所述气动座连接于 所述固定板；所述支杆一端滑动连接于所述气动 座，其另一端连接于所述托架；所述气动座的腔 室充放气，支杆能够将托架顶升或下降，使得托 架的竖直位置与晶圆交互位置相匹配。 A 5 9 8 6 9 4 4 1 1 N C CN 114496895 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种晶圆承载组件，其特征在于，包括： 固定板； 环状的托架，其同心设置于所述固定板的外周侧； 复位组件，其包括气动座和支杆，所述气动座连接于所述固定板；所述