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发明

一种密封装置、容器及工件处理系统

2023-06-03 12:24:48 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN201910969345.0
  • 公开（公告）日：2025-05-16
  • 公开（公告）号：CN112647109A
  • 申请人：常熟东威科技有限公司
摘要：本发明提供了一种密封装置、容器及工件处理系统，其中密封装置包括至少一个密封机构，密封机构包括第一驱动机构及间隔设在第一驱动机构的至少两个第一密封部件；第一密封部件受第一驱动机构的驱动而沿第一方向做闭合环的循环移动，且第一密封部件分别与密封通道内壁密封地滑动连接；任一滑行通道的长度为L0i，任一待处理工件的长度为L2i，任意相邻两个第一密封部件之间的路径长度为L1i；L1i与L0i、L2i之间满足：L0min≥L1max，L1min≥L2max。此结构的密封装置，通过第一密封部件与密封通道内壁密封滑动连接，将密封通道内的溶液大部分阻挡在容器的内腔中，使得容器内的溶液的液面下降幅度进一步缩小。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112647109 A (43)申请公布日 2021.04.13 (21)申请号 201910969345.0 (22)申请日 2019.10.12 (71)申请人 昆山东威科技股份有限公司 地址 215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇 东定路东侧 (72)发明人 危勇军　方志斌　 (74)专利代理机构 北京三聚阳光知识产权代理 有限公司 11250 代理人 徐律 (51)Int.Cl. C25D 17/00(2006.01) C23G 3/00(2006.01) C23G 5/04(2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图1页 (54)发明名称 一种密封装置、容器及工件处理系统 (57)摘要 本发明提供了一种密封装置、容器及工件处 理系统，其中密封装置包括至少一个密封机构， 密封机构包括第一驱动机构及间隔设在第一驱 动机构的至少两个第一密封部件；第一密封部件 受第一驱动机构的驱动而沿第一方向做闭合环 的循环移动，且第一密封部件分别与密封通道内 壁密封地滑动连接；任一滑行通道的长度为L0 ， i 任一待处理工件的长度为L2 ，任意相邻两个第 i 一密封部件之间的路径长度为L1 ；L1

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