一种制备氮化镓的氢化物气相外延装置及工作方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117286569 A (43)申请公布日 2023.12.26 (21)申请号 202311290490.9 C30B 25/16 (2006.01) C30B 29/40 (2006.01) (22)申请日 2023.10.08 (71)申请人 山东晶镓半导体有限公司 地址 250000 山东省济南市历城区中国（山 东）自由贸易试验区济南片区彩石街 道虎山北路1001号智能传感器(济南) 创新中心5-70 (72)发明人 张雷　刘磊　王守志　俞娇仙　 王国栋　 (74)专利代理机构 济南格源知识产权代理有限 公司 37306 专利代理师 张蕾 (51)Int.Cl. C30B 25/02 (2006.01) C30B 25/14 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图2页 (54)发明名称 一种制备氮化镓的氢化物气相外延装置及 工作方法 (57)摘要 本发明公开了一种制备氮化镓的氢化物气 相外延装置，包括：腔体和内置于腔体的镓舟，所 述腔体包括依次连接的进气区、镓反应区、生长 区、换样区和装样区，所述镓舟设于镓反应区，所 述进气区包括第一进气管和第二进气管，所述第 一进气管的末端与镓反应区连通，所述第二进气