蚀刻膏及其制备方法和应用2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117343734 A (43)申请公布日 2024.01.05 (21)申请号 202311327074.1 (22)申请日 2023.10.13 (71)申请人 广东晟阳华创科技有限公司 地址 510700 广东省广州市黄埔区科丰路 31号G5栋619房 (72)发明人 何钧照　施少雄　黄远提　杨应喜　 (74)专利代理机构 华进联合专利商标代理有限 公司 44224 专利代理师 林青中 (51)Int.Cl. C09K 13/06 (2006.01) H01L 31/18 (2006.01) H01L 31/04 (2014.01) 权利要求书1页 说明书8页 (54)发明名称 蚀刻膏及其制备方法和应用 (57)摘要 本申请提供了一种蚀刻膏及其制备方法和 应用，蚀刻膏包括酸性蚀刻剂、氧化剂和黏土。本 申请通过向蚀刻膏中加入氧化剂，不仅能够提高 对ITO的蚀刻效果，而且能够实现对金属材料的 氧化后蚀刻，此外黏土具有强吸附性能，在蚀刻 过程中，能够吸附蚀刻出的金属离子，从而提高 蚀刻效果，并提高蚀刻稳定性。 A 4 3 7 3 4 3 7 1 1 N C CN 117343734 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种蚀刻膏，其特征在于，所述蚀刻膏包括酸性蚀刻剂、氧化剂和黏土。