防止粉末沾粘的粉末原子层沉积装置

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114752919 A (43)申请公布日 2022.07.15 (21)申请号 202110037081.2 (22)申请日 2021.01.12 (71)申请人 鑫天虹(厦门)科技有限公司 地址 361101 福建省厦门市厦门火炬高新 区(翔安)产业区洪溪南路9号A栋102 (72)发明人 林俊成　张容华　 (74)专利代理机构 北京科龙寰宇知识产权代理 有限责任公司 11139 专利代理师 孙皓晨 (51)Int.Cl. C23C 16/455 (2006.01) B82Y 40/00 (2011.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图3页 (54)发明名称 防止粉末沾粘的粉末原子层沉积装置 (57)摘要 本发明提供一种防止粉末沾粘的粉末原子 层沉积装置，主要包括一真空腔体、一轴封装置 及一驱动单元，其中驱动单元通过轴封装置连接 并驱动真空腔体转动。一抽气管线及至少一进气 管线设置在轴封装置内，并将一过滤单元设置在 轴封装置连接真空腔体的反应空间的一端。抽气 管线经由过滤单元抽出反应空间内的气体，而进 气管线则经由过滤单元将前驱物气体或非反应 气体输送至反应空间。进气管线输送非反应气体 的状态包括一搅动状态及一防止沾粘状态，其中 防止沾粘状态时进气管线输出的非反应气体的 流量小于搅拌状态，并可避免粉末沾粘在过滤单 A 元上。 9 1 9 2 5 7 4 1 1 N C CN 114