掩膜板及掩膜板的制作方法2025

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117305767 A (43)申请公布日 2023.12.29 (21)申请号 202311268655.2 (22)申请日 2023.09.27 (71)申请人 京东方科技集团股份有限公司 地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 (72)发明人 毕娜　王威　刘华猛　 (74)专利代理机构 北京博思佳知识产权代理有 限公司 11415 专利代理师 于欣 (51)Int.Cl. C23C 14/04 (2006.01) C23C 14/24 (2006.01) 权利要求书2页 说明书10页 附图6页 (54)发明名称 掩膜板及掩膜板的制作方法 (57)摘要 本申请提供了一种掩膜板及掩膜板的制作 方法。该掩膜板包括基板以及设置于基板的第一 蒸镀部与第二蒸镀部，所述第一蒸镀部与所述第 二蒸镀部沿第一方向间隔设置。所述第一蒸镀部 内设置有多个第一镂空孔，所述第二蒸镀部内设 置有多个第二镂空孔。所述第一镂空孔的形状与 所述第二镂空孔的形状不同，和/或，所述第一镂 空孔与所述第二镂空孔的分布密度不同。μ /E 1 1 与μ /E 处于同一量级，其中，μ 为所述第一蒸 2 2 1 镀部的泊松比，μ 为所述第二蒸镀部的泊松比， 2 E 为所述第一蒸镀部沿所述第一方向的弹性模