一种镀膜的在线检测系统及方法

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116180033 A (43)申请公布日 2023.05.30 (21)申请号 202310083132.4 (22)申请日 2023.01.31 (71)申请人 厦门海辰储能科技股份有限公司 地址 361006 福建省厦门市火炬高新区 （同 翔）产业基地布塘中路11号5#综合楼 201-1 (72)发明人 陆建嘉　屈仁杰　 (74)专利代理机构 北京志霖恒远知识产权代理 有限公司 11435 专利代理师 郭栋梁 (51)Int.Cl. C23C 14/52 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01) C23C 14/56 (2006.01) 权利要求书2页 说明书12页 附图6页 (54)发明名称 一种镀膜的在线检测系统及方法 (57)摘要 本申请公开了一种镀膜的在线检测系统及 方法，用于在基底两侧镀覆形成镀膜层并对基底 单侧的镀膜层进行检测，所述基底上划分有检测 区，所述系统包括：贴胶装置，用于对所述基底的 检测区的一侧进行胶带贴附 ；镀膜装置，所述镀 膜装置设置在所述贴胶装置的下游，用于在所述 基底两侧均镀覆形成镀膜层；去胶装置，所述去 胶装置设置在所述镀膜装置的下游，用于去除所 述检测区一侧的所述胶带及其上的镀膜层；检测 装置，设置在所述去胶装置的下游，用于对所述 检测区另一侧的镀膜层进行检测。 A 3 3 0 0 8 1 6 1 1