一种集成横向扩展腔的窄线宽面发射激光器及其制造方法2026

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117913657 A (43)申请公布日 2024.04.19 (21)申请号 202311675616.4 (22)申请日 2023.12.07 (71)申请人 中国科学院微电子研究所 地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号 (72)发明人 荀孟　王一诺　潘冠中　孙昀　 (74)专利代理机构 北京知迪知识产权代理有限 公司 11628 专利代理师 梁佳美 (51)Int.Cl. H01S 5/183 (2006.01) 权利要求书4页 说明书12页 附图4页 (54)发明名称 一种集成横向扩展腔的窄线宽面发射激光 器及其制造方法 (57)摘要 本发明公开一种集成横向扩展腔的窄线宽 面发射激光器及其制造方法，涉及激光器技术领 域，以增大垂直腔面发射激光器的谐振腔长，减 小其线宽。所述集成横向扩展腔的窄线宽面发射 激光器包括：基底、第一垂直腔面发射激光单元、 第二垂直腔面发射激光单元和横向光学谐振腔 结构。第一垂直腔面发射激光单元和第二垂直腔 面发射激光单元对应的激光传输方向相反，基底 对应第二垂直腔面发射激光单元的部分设有贯 穿的透光通道。横向光学谐振腔结构形成在第一 垂直腔面发射激光单元和第二垂直腔面发射激 A 光单元上。横向光学谐振腔结构具有至少两个全 7 反射界面，以将第一垂直腔面发射激光单元发射 5 6 3 的激光经至少两次反射耦合至第二垂直腔面发 1 9 7 射激光单元。 1 1 N C CN 1