主动散热压电风扇结构及其制备方法、MEMS器件2026

专利内容

本发明提供了一种主动散热压电风扇结构，包括：具有第一空腔的第一基底；与第一基底键合连接的第二基底，第二基底包括间隔设置的若干个压电散热叶片，相邻压电散热叶片之间形成与第一空腔的开口方向相反的第二空腔，压电散热叶片包括悬臂本体和设置在其侧壁上的压电叠层，压电叠层依次包括第一电极层、压电薄膜层和第二电极层；相邻压电散热叶片之间还设有分别连通第一空腔与第二空腔散热槽孔；分别对第一、二电极层施加相位相反的电压，压电薄膜层产生伸缩形变，以驱动悬臂本体摆动，如此形成的主动散热结构，可提升散热装置的整体散热效率，尤为适合电气元件在狭小工作环境下的散热需求，如，CPU、GPU、存储器及电池等。F04D29/38(2006.01);F04D25/08(2006.01);H02N2/00(2006.01)