一种外延炉供气结构及供气系统

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116288694 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310346330.5 (22)申请日 2023.04.03 (71)申请人 季华实验室 地址 528200 广东省佛山市南海区桂城街 道环岛南路28号 (72)发明人 盛飞龙　郭嘉杰　孔倩茵　王鑫　 徐俊　黄吉裕　 (74)专利代理机构 佛山市海融科创知识产权代 理事务所(普通合伙) 44377 专利代理师 陈椅行 (51)Int.Cl. C30B 25/14 (2006.01) C30B 25/16 (2006.01) C30B 25/12 (2006.01) C30B 29/36 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图2页 (54)发明名称 一种外延炉供气结构及供气系统 (57)摘要 本发明涉及半导体生产技术领域，具体公开 了一种外延炉供气结构及供气系统，其中，外延 炉供气结构包括第一供气管道，与传送室连接， 用于为传送室供应惰性气体；第二供气管道，与 反应室进气端连接 ，用于为反应室供应初始载 气；第一回气管道，其两端分别与传送室和第二 供气管道连接；该外延炉供气结构设置第一回气 管道连接传送室和第二供气管道，使得第二供气 管道最终能为反应室输送由其原始提供的初始 载气和第一回气管道提供的惰性气体构成的气 浮混合载气，即利用了需要直接排放至