1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 专利分类
  4. 化学/冶金
发明

一种铟锡氧三元化合物靶材及其制备方法和应用

2023-07-30 07:16:21 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202310409407.9
  • 公开（公告）日：2024-10-15
  • 公开（公告）号：CN116496081A
  • 申请人：湘潭大学
摘要：本发明公开了一种铟锡氧三元化合物靶材及其制备方法和应用，将In2O3和SnO2粉末混合获得混合粉，混合粉预烧结，获得铟锡氧三元化合物粉末，造粒，获得铟锡氧三元化合物粒料，压制成型获得铟锡氧三元化合物坯体，再将铟锡氧三元化合物坯体于氧化性气氛下进行第1步烧结，然后进行氧气置换处理，再进行第2步烧结即得铟锡氧三元化合物靶材，本发明的制备方法具有工艺流程简单、成本低、绿色环保，可制备低铟含量的高致密度的铟锡氧三元化合物靶材，利用铟锡氧三元化合物靶材所制得薄膜具有优良光电性能和良好的耐酸腐蚀性能，可满足现有建筑玻璃对“三防”薄膜的性能要求，同时还可降低铟的消耗，缓解铟资源短缺的压力。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116496081 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202310409407.9 C04B 35/626 (2006.01) C03C 17/23 (2006.01) (22)申请日 2023.04.17 (71)申请人 湘潭大学 地址 411100 湖南省湘潭市雨湖区羊牯塘 27号 (72)发明人 梅方胜　戚芳芳　曹新鲜　林建国　 (74)专利代理机构 长沙市融智专利事务所(普 通合伙) 43114 专利代理师 钟丹 (51)Int.Cl. C04B 35/457 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/08 (2006.01) C03C 17/245 (2006.01) C04B 35/622 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图3页 (54)发明名称 一种铟锡氧三元化合物靶材及其制备方法 和应用 (57)摘要 本发明公开了一种铟锡氧三元化合物靶材 及其制备方法和应用，将In O 和SnO 粉末混合获 2 3 2 得混合粉，混合粉预烧结，获得铟锡氧三元化合 物粉末，造粒，获得铟锡氧三元化合物粒料，压制

最新专利

相关专利