一种硅片烘干处理方法及系统

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114993028 A (43)申请公布日 2022.09.02 (21)申请号 202210688603.X (22)申请日 2022.06.17 (71)申请人 广东高景太阳能科技有限公司 地址 519000 广东省珠海市横琴新区荣澳 道153号4幢二层B25单元 申请人 广东金湾高景太阳能科技有限公司 (72)发明人 周禹　薄千顷　郭翔　付明全　 马伟萍　 (74)专利代理机构 广州三环专利商标代理有限 公司 44202 专利代理师 牛丽霞 (51)Int.Cl. F26B 21/08 (2006.01) F26B 25/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图3页 (54)发明名称 一种硅片烘干处理方法及系统 (57)摘要 本申请公开了一种硅片烘干处理方法及系 统，所述方法包括：步骤1：对硅片周围的空气进 行加热处理；步骤2：在加热后的空气中导入臭氧 气体，以通过臭氧气体和加热后的空气对硅片表 面进行除湿处理；步骤3：对除湿处理后的空气进 行除水干燥处理，得到低湿度的空气，并低湿度 的控制导入硅片周围，循环执行步骤1‑3直至满 足预设的第一烘干条件；通过上述的方法，在对 硅片表面进行干燥处理的过程中，还将同时通入 臭氧气体来对硅片表面的污染物进行化学反应 处理，并且通过化学反应释放的热量对硅片表面 的水分进行再次烘干，这样不仅提升了硅片的烘 A 干效果以及