多晶硅反应炉的温度控制方法、装置及相关设备

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116514126 A (43)申请公布日 2023.08.01 (21)申请号 202310543003.9 (22)申请日 2023.05.12 (71)申请人 新特能源股份有限公司 地址 831500 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐 市甘泉堡经济技术开发区（工业园）众 欣街2249号 申请人 新特硅基新材料有限公司 (72)发明人 张兆东　刘兴平　冯留建　陈娜娜　 (74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限 公司 11243 专利代理师 欧文芳 (51)Int.Cl. C01B 33/035 (2006.01) 权利要求书2页 说明书11页 附图3页 (54)发明名称 多晶硅反应炉的温度控制方法、装置及相关 设备 (57)摘要 本公开提供一种多晶硅反应炉的温度控制 方法、装置及相关设备，涉及多晶硅生产的技术 领域，其中，方法包括：在第一时段获取第一硅棒 组的第一电压数据和第二硅棒组的第二电压数 据，第二硅棒组环绕第一硅棒组设置；当第一电 压数据和第二电压数据之间的电压差值大于第 一预设阈值时，降低第一硅棒组在第一时段的第 一电流增量，升高第二硅棒组在第一时段的第二 电流增量；根据降低后的第一电流增量增加第一 硅棒组的电流，根据升高后的第二电流增量增加 第二硅棒组的电流。本公开以电压差值测定不同 A 硅棒组之间的温差，并基于电流增量的调整实现 6 对不同硅棒组的温度控制，使多晶硅反应