一种CIGS共蒸设备的高稳定传动系统

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114686838 A (43)申请公布日 2022.07.01 (21)申请号 202210310447.3 C23C 14/06 (2006.01) (22)申请日 2022.03.28 (71)申请人 尚越光电科技股份有限公司 地址 311121 浙江省杭州市余杭区五常街 道余杭塘路1999号尚越绿谷中心1幢 603室 (72)发明人 徐彩军　姚永杰　罗明新　仝雪　 (74)专利代理机构 杭州知见专利代理有限公司 33295 专利代理师 张华 (51)Int.Cl. C23C 14/56 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01) C23C 14/24 (2006.01) H01L 31/18 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 (54)发明名称 一种CIGS共蒸设备的高稳定传动系统 (57)摘要 本发明涉及一种CIGS共蒸设备的高稳定传 动系统，解决CIGS共蒸设备基底卷材的传送不稳 定会极大影响CIGS吸收层膜层成型的均匀性的 问题。本系统包括真空腔，真空腔内设置放卷轴、 收卷轴以及若干输送辊，放卷轴和收卷轴之间依 次沿各输送辊输送基底卷材，基底卷材的下方设 置蒸发源，靠放卷轴一端的其中一个输送辊为设 有转速传感器的转速辊，靠近收卷轴一端的其中 一个输送辊为张紧辊，所述放卷轴