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发明

一种带有冷却结构的高温炉2024

2024-04-21 07:22:18 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202410124921.2
  • 公开（公告）日：2024-04-16
  • 公开（公告）号：CN117889659A
  • 申请人：江苏科赢应材科技有限公司
摘要：本申请提供一种带有冷却结构的高温炉，涉及多晶硅加工设备的技术领域。带有冷却结构的高温炉包括炉体、保温笼箱、容纳箱体和冷却装置，保温笼箱设置于炉体内，炉体和保温笼箱之间形成了流通腔；保温笼箱包括箱体、保温门和第一移动驱动源，保温门与第一移动驱动源的移动端连接，箱体侧壁开设有开口，第一移动驱动源带动保温门启闭箱体的开口；容纳箱体设置于保温笼箱内，容纳箱体内用于放置多晶硅；冷却装置包括循环风扇和换热组件；换热组件设置于炉体上，换热组件与炉体能够交换热量；循环风扇用于使气流在流通腔和保温笼箱内循环流动。本申请能够提高对高温炉的冷却效率，改善保温层易被氧化的情况。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117889659 A (43)申请公布日 2024.04.16 (21)申请号 202410124921.2 F27D 3/12 (2006.01) F27D 7/04 (2006.01) (22)申请日 2024.01.29 C30B 29/06 (2006.01) (71)申请人 江苏科赢应材科技有限公司 地址 226000 江苏省南通市如皋市九华镇 华兴路16号 (72)发明人 唐青岗　唐珊珊　张亮　黎心如　 徐子云　陈小飞　 (74)专利代理机构 上海维卓专利代理有限公司 31409 专利代理师 马希超 (51)Int.Cl. F27B 14/06 (2006.01) F27D 9/00 (2006.01) F27B 14/08 (2006.01) F27B 14/14 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图5页 (54)发明名称 一种带有冷却结构的高温炉 (57)摘要 本申请提供一种带有冷却结构的高温炉，涉 及多晶硅加工设备的技术领域。带有冷却结构的 高温炉包括炉体、保温笼箱、容纳箱体和冷却装 置，保温笼箱设置于炉体内，炉体和保温笼箱之 间形成

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