多功能真空纳米薄膜镀膜环式生产线

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112853305 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202011636956.2 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人 深圳市嘉德真空光电有限公司 地址 518000 广东省深圳市龙华区观澜街 道君子布社区田心工业园9号厂房101 (72)发明人 王建峰　 (74)专利代理机构 广州市南锋专利事务所有限 公司 44228 代理人 郑学伟　叶利军 (51)Int.Cl. C23C 14/56 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图3页 (54)发明名称 多功能真空纳米薄膜镀膜环式生产线 (57)摘要 本发明公开了一种多功能真空纳米薄膜镀 膜环式生产线，包括第一镀膜生产线、第二镀膜 生产线及衔接设备，其中，衔接设备包括衔接真 空箱及设在衔接真空箱内的旋转平移机构，衔接 真空箱衔接在第一镀膜生产线的末端和所述第 二镀膜生产线的起始端之间，旋转平移机构设在 衔接真空箱内且可驱动载具平移进入所述第二 镀膜生产线的起始端，或者驱动所述载具旋转 180°进入至所述第二镀膜生产线的起始端。根据 本发明实施例提供的多功能真空纳米薄膜镀膜 环式生产线，可以实现基材的二次镀膜加厚，或 者对两个基材进行镀膜，显著提高产能及效率。 A 5 0 3 3 5 8 2 1 1 N C CN 112853305 A 权　利　要　求　书