真空泵

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113445016 A (43)申请公布日 2021.09.28 (21)申请号 202010231130.1 (22)申请日 2020.03.27 (71)申请人 信强(宁波)半导体设备制造有限公 司 地址 315480 浙江省宁波市余姚市欣朗路 128号 (72)发明人 顾崇诚　 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公 司 31100 代理人 骆希聪 (51)Int.Cl. C23C 14/56(2006.01) C23C 16/54(2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图5页 (54)发明名称 真空泵 (57)摘要 本发明公开一种真空泵包括二个转子、汽缸 以及旋转驱动结构。该汽缸包括一汽缸壁。该两 转子设于该汽缸，该两转子皆包括爪部与凹陷 部，凹陷部设于爪部并与汽缸壁形成一闪避空 间。旋转驱动结构包括一槽体、多个磁性柱、二个 磁性旋转柱和多个电磁线圈。二个磁性旋转柱位 于槽体内并分别与两转子枢接。各磁性柱皆包括 一第一连接端、一第二连接端、一第一侧边以及 一第二侧边，其中各磁性柱分散设置并与槽体以 第一连接端连接，且第二连接端环绕两磁性旋转 柱。各电磁线圈是分散设各第一侧边及各第二侧 边并紧靠槽体。 A 6 1 0 5 4 4 3 1 1