一种承载光伏PECVD设备用的基片托盘2024

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117230432 A (43)申请公布日 2023.12.15 (21)申请号 202311097587.8 (22)申请日 2023.08.29 (71)申请人 德鸿半导体设备（浙江）有限公司 地址 314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经 济开发区施带路18号1幢2楼 (72)发明人 邱将斌　雷仲礼　 (74)专利代理机构 浙江嘉腾专利代理有限公司 33515 专利代理师 王云军 (51)Int.Cl. C23C 16/458 (2006.01) H01L 31/18 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 (54)发明名称 一种承载光伏PECVD设备用的基片托盘 (57)摘要 本发明公开了一种承载光伏PECVD设备用的 基片托盘，包括矩形的边框以及可替换的兜底薄 片，边框上阵列设有至少一个矩形状的薄板孔用 于安装兜底薄片，兜底薄片上阵列设有若干镂空 孔，薄板孔的外缘壁上设有一圈插槽，插槽上方 的厚度小于插槽下方的厚度，兜底薄片的两侧边 分别插入两侧对应的插槽内，插槽内插入兜底薄 片后在水平方向上还留有余量空间，薄板孔的任 意一个拐角处均设有从上端向下连通插槽的缓 释口，薄板孔一端的两侧具有从上端向下连通插 槽的插口，插口位于薄片孔的顶角处可以通过更 换不同规格兜底式薄片，调整基片上下方的电场 A 强度、传热效率、气流走势等参数；制作工艺简 2 单，成本低，抽屉式设计可共用铝质边框，进行快