一种超低膨胀系数氟化石英玻璃及其制备方法2025

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117865436 A (43)申请公布日 2024.04.12 (21)申请号 202410201842.7 (22)申请日 2024.02.23 (71)申请人 创昇光电科技（苏州）有限公司 地址 215200 江苏省苏州市吴江区江陵街 道庞金路1801号 (72)发明人 任霄彤　曹江行　尹号　田光磊　 吴俊斌　 (74)专利代理机构 苏州衡创知识产权代理事务 所(普通合伙) 32329 专利代理师 陈娇 (51)Int.Cl. C03B 1/00 (2006.01) C03B 19/06 (2006.01) C03C 3/06 (2006.01) 权利要求书1页 说明书7页 附图4页 (54)发明名称 一种超低膨胀系数氟化石英玻璃及其制备 方法 (57)摘要 本发明公开了一种超低膨胀系数氟化石英 玻璃及其制备方法，所述制备方法通过先制备得 到TiO ‑SiO 复合材料，再利用氟源对所得TiO ‑ 2 2 2 SiO 复合材料进行氟化处理，并压制成密坯体， 2 最后将密坯体依次进行玻璃化烧结处理，制备得 到的所述氟化石英玻璃具有极低的热膨胀系数， 其膨胀系数小于5 ×10‑8/K，可作为镜基材运用 在EUV光刻中。本发明所述的制备方法能够制备 极高纯的超低膨胀系数氟化石英玻璃，其过渡金 属杂质总量控制在