一种磁控溅射镀膜装置2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 221028646 U (45)授权公告日 2024.05.28 (21)申请号 202322762239.X (22)申请日 2023.10.16 (73)专利权人 衡阳舜达精工科技有限公司 地址 421007 湖南省衡阳市雁峰工业项目 聚集区兴业路3号 (72)发明人 唐迎春　丁平伍　李琴　江小军　 旷小奇　 (74)专利代理机构 合肥方舟知识产权代理事务 所(普通合伙) 34158 专利代理师 朱荣 (51)Int.Cl. C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/50 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 (54)实用新型名称 一种磁控溅射镀膜装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜装置， 属于磁控溅射镀膜技术领域。包括真空舱，真空 舱顶部设置有真空泵，真空舱内底部设置有电 机，连接块顶部设置有工作台。本实用新型通过 电机带动工作台进行转动，工作台顶部包括基 板，使基板进行公转镀膜，同时开启微型电机，带 动转动杆一进行转动，转动杆一顶部包括夹块一 与夹块二，基板被夹持在夹块一与夹块二之间， 使基板进行自传，配合基板公转，使基板各个方 面都可以进行镀膜，镀膜更加均匀；通过电动推 杆，使磁控靶在限位杆上进行移动，弹簧可对磁 控靶进行缓冲，使磁控靶的调节性更好，配合伸 U 缩架对基板进行可调节夹持，可适应多种尺寸的 6 基板对其进行镀膜