一种提拉干燥设备2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118089349 A (43)申请公布日 2024.05.28 (21)申请号 202410528691.6 (22)申请日 2024.04.29 (71)申请人 江苏亚电科技股份有限公司 地址 225500 江苏省泰州市姜堰区三水街 道科技大道151号 (72)发明人 霍召军　王建　刘川　刘青松　 (74)专利代理机构 北京商专润文专利代理事务 所(普通合伙) 11317 专利代理师 陈平 (51)Int.Cl. F26B 9/10 (2006.01) F26B 21/00 (2006.01) F26B 25/02 (2006.01) F26B 25/18 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 (54)发明名称 一种提拉干燥设备 (57)摘要 本申请涉及一种提拉干燥设备，属于对晶圆 干燥设备技术领域，本申请的提拉干燥设备，在 盖体内设置有支撑块，支撑块由驱动件驱动而具 有放行状态和固定状态，支撑块处于放行状态 时，所述支撑块和定位块上的晶圆限位槽共线， 此时，晶圆升降机构能够驱动晶圆抬升，依次经 过支撑块和定位块上的晶圆限位槽，最终晶圆在 晶圆升降机构支撑下停留在第一位置处；支撑块 处于固定状态时，两侧的支撑块相互靠近从而与 晶圆底部接触支撑住晶圆，将晶圆顶起，晶圆脱 离晶圆升降机构，并被固定在第二位置处，第二 位置的高度高于第一位置的高度，将由于晶圆脱 A 离了