一种氧化铟铜靶材及其制备方法与应用2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117778792 A (43)申请公布日 2024.03.29 (21)申请号 202311841723.X (22)申请日 2023.12.28 (71)申请人 苏州精美科光电材料有限公司 地址 215000 江苏省苏州市苏州工业园区 金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区1 栋104室 (72)发明人 何建进　 (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 专利代理师 刘锴 (51)Int.Cl. C22C 1/051 (2023.01) C22C 29/12 (2006.01) B22F 3/14 (2006.01) C23C 14/35 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图1页 (54)发明名称 一种氧化铟铜靶材及其制备方法与应用 (57)摘要 本发明提供了一种氧化铟铜靶材及其制备 方法与应用，所述制备方法包括如下步骤：(1)混 合氧化铟粉末与铜粉，得到混合粉；(2)对步骤 (1)所得混合粉进行热压烧结，得到所述氧化铟 铜靶材。本发明制备得到的氧化铟铜靶材相对密 度较高，致密性良好且具有良好的均一性，外观 颜色均匀且无气孔等缺陷，符合实际生产的需 求。 A 2 9 7 8 7 7 7 1 1 N C CN 117778792 A 权　利　要　求　书