1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 专利分类
  4. 化学/冶金
PCT发明

由不同材料制造结晶材料的方法

2023-05-20 11:10:22 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202080092221.X
  • 公开（公告）日：2024-11-01
  • 公开（公告）号：CN114929927A
  • 申请人：戴森技术有限公司
摘要：一种在表面上制造材料的结晶层的方法，该结晶层包含锂、至少一种过渡金属和至少一种抗衡离子，其中该方法包括以下步骤：将来自包含锂的第一靶的材料等离子体溅射到基板的表面或由基板支撑的表面上，至少存在对应于粒子从第一靶到表面上的轨迹的第一羽流，以及将来自包含至少一种过渡金属的第二靶的材料等离子体溅射到表面上，至少存在对应于粒子从第二靶到表面上的轨迹的第二羽流。第一靶定位成与第二靶不平行，第一羽流和第二羽流会聚在靠近基板表面或由基板支撑的表面的区域，并且结晶层形成在所述区域的表面上。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114929927 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202080092221.X (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 (22)申请日 2020.11.10 专利代理师 张邦帅 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 1916634.7 2019.11.15 GB C23C 14/08 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 C23C 14/00 (2006.01) 2022.07.06 C23C 14/56 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 C23C 14/34 (2006.01) PCT/GB2020/052844 2020.11.10 H01J 37/34 (2006.01) H01M 4/04 (2006.01) (87)PCT国际申请的公布数据

最新专利

相关专利