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发明

一种高密度低迁移率的氧化铟锌稀土掺杂靶材的制备方法2023

2023-11-24 07:18:00 发布于四川 2
  • 申请专利号：CN202310998914.0
  • 公开（公告）日：2023-11-21
  • 公开（公告）号：CN117088679A
  • 申请人：芜湖映日科技股份有限公司
摘要：本发明属于靶材制造技术领域，涉及一种高密度低迁移率的氧化铟锌稀土掺杂靶材的制备方法，步骤S1原材料选择氧化铟、氧化锌、氧化镨、氧化锆；步骤S2按照质量百分比，氧化镨：氧化铟：氧化锌：氧化锆＝2％～4％：80％～85％：12～17％：1～6％，称取原料混合配粉进行浆料球磨，步骤S3将得到的浆料烘干后进行煅烧；步骤S4二次球磨；步骤S5浆料砂磨；步骤S6将得到的粉末进行粉末造粒；步骤S7靶材一次成型；步骤S8靶材二次冷等静压成型；步骤S9将得到素坯放入到加压气氛烧结炉中烧结，本发明选择氧化铟、氧化锌、氧化镨、氧化锆为原材料，并调控之间的比例，使用加压气氛炉进行烧结，能够有效提高氧化铟锌靶材密度。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117088679 A (43)申请公布日 2023.11.21 (21)申请号 202310998914.0 C23C 14/34 (2006.01) (22)申请日 2023.08.09 (71)申请人 芜湖映日科技股份有限公司 地址 241000 安徽省芜湖市(安徽) 自由贸 易试验区芜湖片区衡山路南侧、凤鸣 湖北路西侧1#厂房 (72)发明人 曾墩风　陈光园　王志强　曾探　 (74)专利代理机构 南京正联知识产权代理有限 公司 32243 专利代理师 杨静 (51)Int.Cl. C04B 35/01 (2006.01) C04B 35/622 (2006.01) C04B 35/645 (2006.01) C23C 14/08 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图2页 (54)发明名称 一种高密度低迁移率的氧化铟锌稀土掺杂 靶材的制备方法 (57)摘要 本发明属于靶材制造技术领域，涉及一种高 密度低迁移率的氧化铟锌稀土掺杂靶材的制备 方法，步骤S1原材料选择氧化铟、氧化锌、氧化 镨、氧化锆；步骤S2按照质量百分比，氧化镨：氧 化铟：氧化锌：氧化锆＝2％～4％：80％～85％： 12～17％：1～6％，称取原料混合配粉进行浆料 球磨，步骤S3将得到的浆料烘干后进行煅烧；步 骤S4二次球磨；步骤S

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