旋转靶材挤压设备及旋转靶材与背管的绑定方法

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116288189 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310321954.1 (22)申请日 2023.03.29 (71)申请人 洛阳汇晶新材料科技有限公司 地址 471000 河南省洛阳市中国(河南)自 由贸易试验区洛阳片区高新区滨河北 路99号 (72)发明人 单鹏　李德华　黄飞虎　 (74)专利代理机构 郑州中科鼎佳专利代理事务 所(特殊普通合伙) 41151 专利代理师 蔡佳宁 (51)Int.Cl. C23C 14/34 (2006.01) B22F 3/20 (2006.01) B22F 3/24 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图2页 (54)发明名称 旋转靶材挤压设备及旋转靶材与背管的绑 定方法 (57)摘要 一种旋转靶材挤压设备，包括缸体、芯轴、背 管、压套和压力传递介质；其中，缸体和芯轴具有 缩径结构，背管同轴螺接在芯轴具有缩径结构的 一端；所述旋转靶材安装在缸体与芯轴之间，压 套与缸体、芯轴滑动配合，用于通过压力传递介 质对旋转铜靶材进行施压，使旋转铜靶经缩径后 套在背管上。一种旋转靶材与背管的绑定方法， 将旋转靶材加热并放入挤压设备内，通过压力传 递介质对旋转靶材进行施压，使旋转靶材经缩径 后套在背管上，经冷却后实现旋转靶材与背管的 绑定。本发明一是通过缩径挤压的方式提高旋转 A 靶材的致密度；二是巧妙地