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发明

基于振动弛豫的扫描补偿方法、系统及电子设备2025

2024-03-25 07:19:46 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202311747455.5
  • 公开（公告）日：2025-04-04
  • 公开（公告）号：CN117727609A
  • 申请人：东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司
摘要：本申请提供一种基于振动弛豫的扫描补偿方法、系统及电子设备，包括：基于启动定位信号，生成定位动作指令；基于所述定位动作指令，控制工件台运动并判断是否运动至振动补偿范围；在工件台运动至振动补偿范围的情况下，控制工件台以预设振动弛豫模型的振动形式进行运动，以确定工件台运动过程中的第一位置偏差；基于所述第一位置偏差，生成扫描补偿信号；基于所述扫描补偿信号进行电子束扫描，扫描补偿信号在电子束扫描过程中驱动电子束相对工件台运动。本申请基于振动弛豫的扫描补偿方法通过优化工件台定位流程，降低了电子束扫描成像中由于振动弛豫导致的图像质量下降问题，提升了扫描图像分辨率，提高了成像速度和设备整体产能。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117727609 A (43)申请公布日 2024.03.19 (21)申请号 202311747455.5 G01N 23/225 (2018.01) G01N 23/2251 (2018.01) (22)申请日 2023.12.18 (71)申请人 东方晶源微电子科技（北京）股份有 限公司 地址 100176 北京市大兴区北京经济技术 开发区经海四路156号院12号楼 (72)发明人 蒋俊海　孙伟强　 (74)专利代理机构 北京汇知杰知识产权代理有 限公司 11587 专利代理师 张婷婷　杨彦鸿 (51)Int.Cl. H01J 37/02 (2006.01) H01J 37/20 (2006.01) H01J 37/26 (2006.01) H01J 37/28 (2006.01) 权利要求书2页 说明书10页 附图5页 (54)发明名称 基于振动弛豫的扫描补偿方法、系统及电子 设备 (57)摘要 本申请提供一种基于振动弛豫的扫描补偿 方法、系统及电子设备，包括：基于启动定位信 号，生成定位动作指令；基于所述定位动作指令， 控制工件台运动并判断是否运动至振动补偿范 围；在工件台运动至振动补偿范围的情况下，控 制工件台以预设振动弛豫模型的振动形式进行 运动

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