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高纯超细氮化硅粉体的制备工艺2026

2024-06-01 07:59:53 发布于四川 40
  • 申请专利号:CN202410224195.1
  • 公开(公告)日:2026-03-20
  • 公开(公告)号:CN118084506A
  • 申请人:中材高新氮化物陶瓷有限公司
摘要:本发明公开了高纯超细氮化硅粉体的制备工艺,包括:以下步骤:S1,硅块坯体的制备:包括:S11,将硅粉先和稀释剂混合,得到粉体混合物;S12,将粉体混合物与粘结剂混合后,进行球形化处理,得到硅粉混合粒;S13,将硅粉混合粒压制成型,得到硅块坯体;S2,氮化硅块的制备:包括:S21,将硅块坯体在抽真空条件下第一段烧结脱脂,再进行第二段烧结氮化,通入氮氢氩混合气,氮氢氩混合气包括氮气、氢气和氩气,排空气体后得到氮化硅块;S3,氮化硅粉体的制备:包括:S31,将氮化硅块破碎,得到氮化硅粉体。通过球形化处理增加硅块内部颗粒与颗粒之间的孔隙率,避免聚热;通过合理烧结工艺避免出现硅溢,避免α相向β相转化,保证硅块能够充分的氮化。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118084506 A (43)申请公布日 2024.05.28 (21)申请号 202410224195.1 C04B 35/622 (2006.01) C04B 35/634 (2006.01) (22)申请日 2024.02.29 C04B 38/06 (2006.01) (71)申请人 中材高新氮化物陶瓷有限公司 C04B 35/64 (2006.01) 地址 255000 山东省淄博市高新区四宝山 街道裕民路122号 (72)发明人 王瑞强 申常胜 李镔 邢培吉  王腾飞 张骥 赵红超 齐新栓  张伟儒 陈波  (74)专利代理机构 深圳市育科知识产权代理有 限公司 44509 专利代理师 邓旭 (51)Int.Cl. C04B 35/587 (2006.01) C04B 35/591 (2006.01) C04B 35/626 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图2页 (54)发明名称 高纯超细氮化硅粉体的制备工艺 (57)摘要 本发明公开了高纯超细氮化硅粉体的制备 工艺,包括:以下步骤:

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